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金属--P型金刚石肖特基势垒性能

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该文报道金属--P型金刚石薄膜的肖特基势垒性能。在低阻Si单晶衬底上，用微波等离子体CVD法生长掺硼的多晶金刚石薄膜，用金属与P型金刚石薄膜接触的方法获得金刚石薄膜的肖特基势垒性能。经测试分析，在10V范围内有4个数量级的整流性能。

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来源
《第六届全国固体薄膜学术会议》|1998年|243-245|共3页
会议地点成都
作者
江关辉;
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作者单位

中国电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类材料;
关键词
P型金刚石; 肖特基势垒;

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