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欧陆数字调节器在CG3000/2000型单晶炉中的应用

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该文简略介绍ＣＧ３０００／２０００型单晶炉控制原理及南数字调节器功能，在对系统输入／输出分析估算，并经实测验证的数据基础上，提出了用欧陆仪改造ＣＧ３０００／２０００单晶炉控制系统的方法，并给出了两种单晶炉的实际接线图以及调试方法。

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来源
《1998年全国半导体硅材料学术会议》|1998年|282-285|共4页
会议地点上海
作者
梁开金;
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作者单位

中国有色金属学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类其他炉;
关键词
欧陆数字调节器; 单晶炉; 控制系统;

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