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硅研磨片表面的预清洗

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该文提出硅研磨片的预清洗工艺，就是在磨片清洗之前的前置处理。用高压喷洗、超声波平超和助洗剂浸泡等方法，以使硅研磨片清洗一次成品率较大幅度的提高。

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来源
《1998年全国半导体硅材料学术会议》|1998年|110-111|共2页
会议地点上海
作者
郭生贵; 蒋建国; 郝美功;
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作者单位

中国有色金属学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类晶体加工;
关键词
硅片; 研磨片; 表面; 预清洗;

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