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埚转速度变化对直拉硅单晶氧径向均匀性的影响

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该文研究了直拉硅单晶氧径向均匀性与石英埚转速变化的关系。在单晶生长初期。石英埚转速变化对氧径向均匀性没有影响。但在单晶生长后期。石英埚转速增加导致氧径向均匀性变坏。

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来源
《1998年全国半导体硅材料学术会议》|1998年|69-70|共2页
会议地点上海
作者
郝玉清; 张果虎; 方锋; 吴志强;
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作者单位

中国有色金属学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类晶体生长工艺;
关键词
埚转速度; 直拉; 硅单晶; 氧; 径向均匀性;

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