首页> 中文会议>1998年全国半导体硅材料学术会议 >六对棒SiHCl<,3>氢还原炉结构与工艺设计中的几个总是探讨

六对棒SiHCl<,3>氢还原炉结构与工艺设计中的几个总是探讨

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

该文就反应温度、Ｈ〈，２〉气与ＳｉＨＣｌ〈，３〉的摩尔比、炉内混合气体量及其运动状况、炉膛容积、吸热和辐射传热表面积等对还原反应效率和多晶硅产品质量的影响进行分析，并在六对棒ＳｉＨＣｌ〈，３〉氢还原炉结构和工艺设计中加以应用，对在运行中的有关问题进行了讨论。

著录项

来源
《1998年全国半导体硅材料学术会议》|1998年|82-86|共5页
会议地点上海
作者
丁国江;
展开▼
作者单位

中国有色金属学会;

展开▼
会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TN304.12;
关键词
六对棒SiHCl,3氢还原炉结构与工艺;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 12对棒还原炉提升产能降低电耗途径探讨 [J] . 张新红 ,杨丞杰 ,何书玉 . 云南化工 . 2013,第003期
2. 西宁特钢小棒工程棒材轧辊间工艺设计要素探讨 [J] . 邱实 . 山东工业技术 . 2018,第011期
3. V型滤池工艺设计中的几个问题探讨 [J] . 张景序 ,黄旭朝 . 城镇供水 . 2006,第006期
4. 长大悬索桥工艺设计和制造中几个问题的探讨 [J] . 孙昌茂 . 钢结构 . 2002,第003期
5. 液氨致冷工艺设计中几个问题的探讨 [J] . 周汉平 . 纯碱工业 . 1999,第003期
6. 土地管理信息系统中的几个技术总是探讨 [C] . 朱光 . 中国地理信息系统协会2001年年会 . 2001
7. 36对棒与48对棒还原炉运行工艺分析与研究 [A] . 张鹏远 . 2016

获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

客服微信
服务号