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张国炳; 郝一龙; 孙玉秀; 陈文茹; 肖志雄; 王铁松;
中国有色金属学会;
多晶硅; 薄膜; 应力; 特性;
机译:多晶硅薄膜应力分布的分析与控制
机译:用灯加热生产新型LPCVD原型,并研究沉积的多晶硅膜的特性-特性
机译:拉曼成像光谱纳米多晶硅薄膜应力分布研究
机译:用于微机电系统的多晶硅结构特性的高通量片上原位研究。
机译:通过片上测试对多晶硅膜的力学和几何特性进行统计研究
机译:基于纳秒脉冲激光不同波长效应的多晶硅损伤特性研究
机译:热历史对热生长二氧化硅,siO2超薄膜应力相关特性的影响
机译:测量具有快速响应特性的纳米金属薄膜应力变化的自动装置和方法
机译:多晶硅的存储阶段特性,检测方法及多晶硅接收治具的多晶硅
机译:研究流体特性并生产用于研究流体特性的pol挤压设备的方法,用于生产pol的设备,用于监测从第一产品规格向第二产品规格过渡的方法和设备在聚合过程中,以及pol u00ecmero的产物
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