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硅材料电阻率测量双电测方法的三种组合模式

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该文概述了双电测法的三种组合模式，简要说明了三种组合模式测量电阻率时与材料厚度的关系；并对第一种组合模式（Ｐｅｒｌｏｆｆ法）测量电阻率的演变过程作了具体介绍。

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来源
《1998年全国半导体硅材料学术会议》|1998年|216-217|共2页
会议地点上海
作者
鲁效明; 宿昌厚;
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作者单位

中国有色金属学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TN304.12;
关键词
硅材料; 电阻率; 测量; 双电测法; 组合模式;

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