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64/128元线列混成InSb焦面探测器

摘要

研究人员制造的64/128元线列混成InSb焦面探测器是光伏型的,由光伏型线列Sb芯片与Si-CMOS多路传输器混成,集成在一个微型玻璃杜瓦中,探测器的光电信号输出有两路,可以进行相关双取样处理。64元器件的光敏面为70×70μm<'2>,128元器件的光敏面为50×50μ m<'2>;探测器的视埸可以按用途确定;工作波段为3.7~4.8μm ;采用J-T效应制冷器,其D<'*>bb·1.5×10<'10>cm·Hz<'1/2>/W,响应率不均匀度≤±10%,读出速率≥1MHz。

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