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类金刚石薄膜质量的椭偏谱测量

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摘要

类金刚石薄膜（DLC膜）具有非常优良的光学、电学和机械性质。但其薄膜材料的性质强烈依赖于薄膜的制备，因此如何确定DLC膜的质量是至关重要的。文中应用椭偏光谱法研究了一系列不含氢DLC样品，表明椭偏光谱法可以确定DLC膜厚度，并可反映出sp<'3>成份百分比变化与制备时偏置电压的关系。

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来源
《中国光学学会全息与光信息处理专业委员会'98学术年会》|1998年|167-172|共6页
会议地点成都
作者
郭文胜; 朱丹; 刘志宏; 朱自强; 黄世平;
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作者单位

中国光学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类薄膜测量与分析;
关键词
偏光谱仪; 类金刚石膜; 多样品分析法; 光学性质;

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