大面积YBCO超导薄膜退火气氛研究

摘要

本文在新研制的退火炉中开展大面积YBCO超导薄膜退火气氛(氧气和水蒸气)的研究实验.实验发现,不同的退火炉炉内温度下氧气的通入对退火薄膜的超导性能(主要考评微波表面电阻Rs)有较大的影响,本文从化学反应动力学对这几种退火气氛差别进行了讨论,初步阐明了退火气氛对超导性能的影响机制.

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