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直拉硅中锗掺杂对铁镓对反应动力学的影响

摘要

研究了铁镓对在锗掺杂的直拉硅中的动力学行为,得到铁镓对的生成和分解激活能分别为0.63和1.09eV,与普通直拉硅中的结果基本相一致,但指前因子比后者中的大一倍.同时,还通过测试不同温度下铁镓对和间隙铁平衡浓度之比计算得到铁镓对的结合能为0.46eV.通过第一性原理计算,发现锗掺杂对铁的扩散势垒没有影响,但可以增大镓对铁的俘获截面.

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