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赵静; 侯国付; 索松; 魏长春; 张晓丹; 赵颖;
中国可再生能源学会;
硅基薄膜太阳电池; 金属银; 氧化锌背电极; 磁控溅射工艺; 温度效应; 物理性能;
机译:衬底温度对直流磁控溅射制备ZnO和Al掺杂ZnO薄膜的结构和光学性能的影响
机译:溅射Zn_3As_2 / ZnO靶材制备的ZnO薄膜的导电类型对衬底温度和热处理的依赖性
机译:Ar离子束辅助和衬底温度对RF磁控溅射沉积Al掺杂ZnO薄膜物理性能的影响
机译:溅射气压和衬底温度对射频磁控溅射制备ZnO:Al薄膜光学性能的影响
机译:氢退火和衬底温度对射频溅射氧化锌薄膜性能的影响
机译:ZnF2掺杂的ZnO靶在不同溅射衬底温度下沉积F掺杂的ZnO透明薄膜
机译:溅射功率和衬底温度对Al2O3掺杂ZnO薄膜性能的影响
机译:用于saW(表面声波)的ZnO射频磁控溅射:磁场强度和结构的影响。
机译:用于反射涂层或接线电极的Ag合金膜,用于反射涂层或接线电极的反射涂层和用于溅射涂层或接线电极的Ag合金溅射靶
机译:用于反射电极或配线电极的Ag合金膜,反射电极或配线电极以及Ag合金溅射靶
机译:用于反射电极或接线电极,反射电极或接线电极的AG合金膜以及AG合金溅射靶
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