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斜离子束辅助沉积对Co80Nb20薄膜结构及磁性能的影响

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本文采用斜离子束辅助沉积(IBAD)方法制备了Co80Nb20合金薄膜,研究了离子束入射角度对薄膜结构、组织及磁性能的影响.结果表明:当离子束入射角度小于30°时形成fcc亚稳合金薄膜,入射角增大到30°后转变为hcp固溶体;Co80Nb20薄膜均表现出平面易磁化特征,在入射角小于75°时Co80Nb20薄膜矫顽力较小;当离子束入射角度增大到75°后,薄膜在平行膜面方向矫顽力明显增大,而垂直膜面方向矫顽力减小.从理论上讨论了离子束入射角度对原子混合、热峰效应、薄膜内应力及亚稳结构形成的影响.

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来源
《第十届全国青年材料科学技术研讨会》|2005年|1827-1832|共6页
会议地点长沙
作者
李晓伟; 丁宇清; 曾飞; 谷宇; 耿魁伟; 潘峰;
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作者单位

中国有色金属学会;

中国材料科学研究会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类薄膜技术;
关键词
离子束辅助沉积; 入射角; 合金薄膜; 薄膜结构;

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