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用扫描探针显微镜扫描二维光栅形貌

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本文阐述了扫描探针显微镜的基本工作原理及特点,以二维光栅作为测试样品介绍AJ-Ⅲ型扫描探针显微镜的实验过程,观测二维光栅的形貌图,并利用离线软件对其三维图像、颗粒尺寸、剖面图像等进行分析与处理,最后指出了仪器存在的不足与改进意见。

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来源
《第19届中国过程控制会议》|2008年|434-436|共3页
会议地点北京
作者

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作者单位

中国自动化学会过程控制专业委员会;

北京化工大学;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类显微镜;设计、计算与制图;
关键词
显微镜测量; 扫描探针; 二维光栅; 光栅形貌;

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