基于Qplus技术扫描探针显微镜扫描头的研制

封面

声明

中文摘要

英文摘要

目录

1 绪论

1.1 扫描探针显微镜的发展

1.2 扫描探针显微镜的应用

1.2.1 在表面科学的应用

1.2.2 在生命科学中的应用[3]

1.2.3 在纳米科学与技术领域中的应用

1.2.4 弱力精密测量

1.3基于石英音叉的原子力显微镜的发展

1.4 研究内容

2 扫描探针显微镜的基本原理

2.1 扫描隧道显微镜（STM）基本原理

2.1.1 隧道效应

2.1.2 STM的工作原理

2.2 原子力显微镜（AFM）的基本原理[8]

2.2.1 针尖-样品间的作用力

2.2.2原子力显微镜的工作原理

2.2.3 调频原子力显微镜（FM-AFM）的工作原理

3 SPM扫描头的组装

3.1 自制扫描探针显微镜（SPM）的简介

3.2 Qplus-AFM扫描头

3.2.1扫描头骨架

3.2.2 磁阻尼台

3.2.3 步进马达

3.2.4扫描压电陶瓷管

3.2.5可更换探针台装置

4前置放大器的设计

4.1前置放大器设计的动机

4.2前置放大器电路的设计要求

4.4前置放大器电路图的仿真与实现

4.5前置放大器带宽的展宽

4.6前置放大器的测试

5扫描探针显微镜系统的测试

5.1 STM模式测试

5.2 AFM模式测试

5.3扫描压电陶瓷管的标定

致谢

参考文献