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第1章绪论
1.1纳米技术与SPM
1.2扫描探针显微镜简介
1.3扫描探针显微镜控制系统的发展
1.4基于DSP的扫描探针显微镜发展状况
1.5本课题的目的和意义
1.6本论文内容概述
第2章扫描探针显微镜基本原理
2.1扫描隧道显微镜原理
2.2扫描隧道显微镜的基本结构
2.3扫描隧道显微镜的控制系统
第3章数字信号处理器(DSP)简介
3.1 DSP的发展
3.2 DSP的结构和特点
3.3 DSP应用在SPM控制系统中的优越性
第4章DSP-SPM控制系统的总体设计
4.1总体思路
4.2软硬件的总体设计
4.3本章小结
第5章模块的详细实现
5.1 USB通信接口的实现
5.2 A/D模块的实现
5.3 D/A模块的实现
5.4 DIO模块的实现
5.5光电隔离模块的实现
5.6电源模块的实现
5.7粗调马达的实现
5.8图像扫描的实现
5.9开放性接口和断点的实现
5.10本章小结
第6章总体调试及结果
6.1总体调试的步骤
6.2总体调试的结果
6.3存在问题
第7章结论和展望
7.1结论
7.2展望
参考文献
附录A 硬件电路图
§A-1 USB外围电路
§A-2 DSP接口电路
§A-3 A/D模块电路
§A-4 D/A模块电路
§A-5 DIO模块电路
§A-6光电隔离模块电路
§A-7电源模块电路
附录B 硬件实物图
§B-1 A/D模块实物图
§B-2 D/A模块实物图
§B-3板卡1实物图
§B-4板卡2实物图
附录C 软件定义
§C-1 DSP硬件层定义
§C-2 DSP功能层定义
§C-3 PC的USB驱动层定义
§C-4 PC的USB功能层定义
致谢
论文原创性声明
