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Nano-diamond薄膜场致发射特性及其在传感器的应用

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在Nano-diamond粉体中掺入纳米石墨粉体、有机和无机的介质，形成可供丝网印刷的浆料并制作成电子发射薄膜。其中纳米金刚石的天然棱角可作为电子发射微尖，引入石墨可增加金刚石薄膜的导电性，实验研究了Nano-diamond薄膜的烧结工艺和薄膜后处理工艺，测试分析Nano-diamond薄膜场致发射特性，并利用该场致发射特性设计一个压力传感器。

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来源
《中国电子学会真空电子学分会第十八届学术年会暨军用微波管研讨会》|2011年|754-757|共4页
会议地点张家界
作者
王二垒; 张秀霞; 张丽霞;
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作者单位

中国电子学会真空电子学分会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类特种结构材料;
关键词
纳米金刚石薄膜; 场致发射特性; 制备工艺; 压力传感器;

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