电真空器件氦质谱检漏技术中检漏平台和模具设计

著录项

• 来源
  《中国真空学会质谱分析和检漏专业委员会第十七届年会、中国计量测试学会真空计量专业委员会第十二届年会》|2013年|94-99|共6页
• 会议地点 天津
• 作者

  王博锋; 李丽萍; 周健勇; 张波;

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• 作者单位

  中国真空学会;

  中国计量测试学会;

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• 会议组织
• 正文语种
• 原文格式 PDF
• 中图分类 电真空测试技术与设备;
• 关键词

  电真空器件; 气密性能; 氦质谱检测; 检漏平台; 模具设计;