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边缘电场传感器建模及逆问题研究

摘要

边缘电场传感器是一种电容式传感器,由于具有单边穿透、信号强度可调及层析成像等优点,被广泛应用于工业过程控制中非接触测量.但是边缘电场不均匀分布,很难建立传感器解析模型,求解被测对象物理特性的逆问题难度很大.本文研究了交叉指电极边缘电场传感器连续建模方法,并在此基础上,利用广义特征值求解介电特性参数,仿真结果验证了算法的有效性.

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