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利用红外光谱测量氮化镓薄膜载流子浓度和迁移率

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本文提供了一种利用红外反射光谱测量半导体薄膜载流子浓度以及迁移率的实验方法.这种测量方法与霍尔效应相比具有测试过程简单、耗时少、对被测样品没有损坏等优特点,而且测量结果可靠,可以将其作为研究性实验引入大学物理实验中.

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来源
《第七届全国高等学校物理实验教学研讨会》|2012年|479-483|共5页
会议地点成都
作者
张师平; 陈森; 朱少奇; 闫丹; 张炎; 吴平;
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作者单位

中国高等学校实验物理教学研究会;

教育部高等学校物理学与天文学教学指导委员会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类实验;
关键词
高等教育; 物理实验; 红外光谱测量; 氮化镓; 半导体薄膜; 载流子浓度; 迁移率;

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