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FIB-SEM双束扫描电镜在地球科学中的应用

摘要

随着地球科学的发展,越来越多的学者开始关注地球和地外样品中微观尺度的形貌、结构与成分特征.对于极为珍贵和极具科研价值的样品,则要求满足超微量、无损、无污染的分析要求.FIB-SEM双束扫描电镜是近乎无损的样品制备与分析技术,是地球科学领域中研究微观结构与成分特征最有优势的工具之一.

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