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铁电/氮化镓异质结构基本物理参数与性能模拟

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摘要

随着近年来铁电薄膜技术的发展，不仅使铁电薄膜在半导体衬底上集成—— 集成铁电器件成为现实，更令人期待的是，由于铁电材料的多功能性，将有可能使铁电材料的特性与半导体特性发生耦合，从而提高半导体性能甚至诱导新效应的产生。

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来源
《第十一届中国国际纳米科技研讨会》|2012年|1-2|共2页
会议地点昆明
作者
张继华; 吴松; 刘颖; 陈宏伟; 杨传仁; 李言荣;
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作者单位

中国微米纳米学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TN304.055;
关键词
铁电/氮化镓异质结构; 物理参数; 性能模拟; 铁电薄膜; 半导体性能;

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