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李建飞; 薛兵; 张俊峰; 朱小毅; 王晓蕾;
中国地震学会;
微机电加速度计; 恒温系统; 设计理念; 环境温度;
机译:使用绝缘体上硅-MEMS技术制造的MEMS电容式加速度计的小型化
机译:MEMS加速度计在织机中实现翘曲停止运动的实现
机译:应用于MEMS加速度计的机械运动放大器的特性
机译:基于MEMS加速度计和MEMS麦克风的小型地震声传感器系统
机译:基于电气刺激MEMS加速度计和其他传感器的统计校准模型
机译:使用ASIC工艺实现CMOS / MEMS加速度计
机译:基于PTC梁的小型化MEMS量子隧道加速度计的开发和证明基于PTC尖端的聚焦离子束3D纳米图案
机译:将宏观设计工具应用于mEms加速度计的设计
机译:小型,高电容读数的基于硅的MEMS加速度计
机译:小型,高电容读出基于硅的MEMS加速度计
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