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不同材质磨盘对蓝宝石晶片磨削性能的影响

摘要

采用W7碳化硼磨液搭栽铸铁盘和陶瓷复合盘、W7金刚石研磨液搭栽树脂铜盘和聚氨酯合成布对蓝宝石晶片进行研磨的试验研究,对比铸铁盘、陶瓷复合盘、树脂铜盘、聚氨酯研磨布等粗研磨蓝宝石晶片的粗糙度和磨削效率.试验结果表明,陶瓷复合盘在粗糙度和磨削效率方面均优于铸铁盘,粗糙度Ra0.073μm,磨削效率可达0.305μm/min;聚氨酯合成布的粗糙度Ra0.058μm,磨削效率可达0.125μm/min,优于树脂铜盘.

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