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不同工艺SRAM型FPGA单粒二子锁定试验研究

摘要

以体硅工艺和外延工艺制造的SRAM型FPGA为样品,用高能粒子加速器产生的LET值为13.6-92.55MeV.cm2/mg离子,进行了单粒子锁定试验研究,试验结果是外延CMOS工艺制造的器件未发生单粒子锁定,体硅CMOS工艺的制造的器件发生了单粒子锁定,试验还发现,随入射离子LET值增加,器件单粒子锁定电流增加。

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