SOI MOSFET中子辐射效应模拟研究

摘要

本文对绝缘体上硅(Silicon-On-Insulator SOI)MOSFET器件的中子辐射效应的数值模拟进行了研究,利用蒙特卡罗(Monte Carlo)模拟软件Geant4跟踪模拟1MeV至14MeV中子入射SOIMOSFET器件的辐射作用,并对反应所产生的反冲原子种类、数目、平均能量及总平均能量沉积等重要信息进行了探讨,该工作为今后深入研究SOI MOSFET器件总剂量效应提供了基础。

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