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微电子IC制造技术虚拟培训平台的设计

摘要

本文论述微电子IC制造技术的发展,研发出微电子IC制造技术虚拟培训平台,将IC工艺、集成电路IC制程(晶圆、芯片、封装)、SMT技术、微电子组装技术(BGA、PoP、FC、MCM、光电子)、微电子封装技术(器件三维叠层、系统立体封装)和考评系统集成,构建微电子虚拟制造工厂,提供一个全新的教学平台. 微电子IC制造技术虚拟培训平台采用Vsual C++工具开发,以仿真技术为前提,建立功能强大的虚拟制造环境,对微电子IC制造的生产过程进行统一建模和仿真,可进行工艺选择设计、设备主要参数的设置、工艺和设备的模拟运行操作,在计算机上实时、并行地模拟出来微电子IC制造的全过程。

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