• 主题
高级搜索  >
历史搜索 清空历史
首页> 外文会议>2005 IMAPS/ACerS 1st international conference and exhibition on ceramic interconnect and ceramic microsystems technologies (CICMT) >Micron Scale Conductors and Integrated Passives in LTCC's byElectrophoretic Deposition
【24h】

Micron Scale Conductors and Integrated Passives in LTCC's byElectrophoretic Deposition

机译：电泳沉积LTCC中的微米级导体和集成无源

获取原文
获取原文并翻译 | 示例
页面导航
  • 摘要
  • 著录项
  • 相似文献
  • 相关主题

摘要

Electrophoretic deposition (EPD) is a low cost, particle based, electrodynamic forming process suitable forrnparticles in the micron to nanometer size range. It can be used to reproduce patterns of conductor or dielectricrnmaterial with micron scale resolution. This can be applied to the miniaturization of interconnects and componentsrnincorporated into low temperature co-fired ceramic modules.rnThe process for forming these patterns is as follows. First, a conductive pattern is imaged by conventionalrnphotolithography on a plastic film. This pattern can then be coated with particles by EPD. Using a binder, thisrndeposited particulate pattern can be transferred to another surface, where it can be sintered or fused to makerncontinuous conductor lines, dielectric patches or layers with micron scale vias. The photolithographically producedrnconductor pattern can then be re-used repeatedly to create more patterned particulate depositions. In this manner arnsingle pattern produced by photolithography can be used to make multiple parts with photolithographic scalernresolution. Using this process we have created 5 μm wide silver conductor lines on a 10 μm spacing, layers with 5rnμm diameter vias, and 600 nm thick barium titanate dielectric layers.
机译：电泳沉积（EPD）是一种低成本的基于粒子的电动成型工艺，适用于微米至纳米尺寸范围内的粒子。它可以用于以微米级分辨率复制导体或介电材料的图案。这可用于使低温共烧陶瓷模块中的互连和组件小型化。形成这些图案的过程如下。首先，通过常规光刻将导电图案成像在塑料膜上。然后可以通过EPD用颗粒涂覆该图案。使用粘合剂，可以将这种沉积的颗粒图案转移到另一个表面，在该表面上可以将其烧结或熔合成连续的导体线，电介质贴片或具有微米级通孔的层。然后可以将光刻产生的导体图案重复使用以产生更多的图案化颗粒沉积物。以这种方式，通过光刻产生的纤毛图案可以用于制造具有光刻规模分辨率的多个部分。使用此过程，我们以10μm的间距创建了5μm宽的银导体线，直径为5rnμm的通孔层和600 nm厚的钛酸钡介电层。

著录项

相似文献

  • 外文文献
  • 中文文献
  • 专利
获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

  • 客服微信

  • 服务号