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A capacitance detection circuit for on-chip microparticle manipulation

机译:用于芯片上微粒操纵的电容检测电路

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摘要

This study proposes a capacitance detection circuit for on-chip microparticle manipulation. The designed circuit employs the charge-based capacitance measurement technique to convert a capacitance value to a digital output code. Experimental results reveal capacitance measurement within error of 4 fF.
机译:这项研究提出了一种用于片上微粒操纵的电容检测电路。设计的电路采用基于电荷的电容测量技术将电容值转换为数字输出代码。实验结果表明,电容测量误差在4 fF之内。

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