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首页> 外文会议>2014 International Symposium on Optomechatronic Technologies >Multi-focusing Microlens Array with Different Numerical Aperture by Thermal Reflow Method
【24h】

Multi-focusing Microlens Array with Different Numerical Aperture by Thermal Reflow Method

机译：热回流法制备不同数值孔径的多焦点微透镜阵列

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We demonstrate a fabrication method of multi-focusing micro lens array (MLA) through thermal reflow method, and its optical properties. In our multi-focusing MLA, each lens structure was hexagonally packed, and we introduced a partial developing process and a confinement wall structure made by cross-linked photo resist (PR) material to fix a diameter of reflowed spherical lens structure. Due to the base PR layer supporting the thermal reflow process and the guiding structure, the thermally reflowed PR lens structure has different radius of curvatures with different numerical apertures (NAs), where the reflowed PR lens structure could be precisely modeled by the initial volume of the double cylinder PR structure. The multi-focusing MLA we fabricated by using ultraviolet (UV) curable polymer with 1.51 refractive index had four different focal lengths of which values were 0.9 mm, 1.1 mm, 1.6 mm and 2.5 mm, respectively, with four different NAs of which values were 0.1799, 0.2783, 0.3973 and 0.4775, respectively, where the fill factor was 0.7727.
机译：我们演示了一种通过热回流法制造多焦点微透镜阵列（MLA）的方法及其光学特性。在我们的多焦点MLA中，每个透镜结构都是六边形排列的，我们引入了部分显影工艺和由交联的光致抗蚀剂（PR）材料制成的限制壁结构，以固定回流的球面透镜结构的直径。由于基础PR层支持热回流工艺和引导结构，因此热回流PR透镜结构具有不同的曲率半径和不同的数值孔径（NA），其中回流PR透镜结构可以通过初始的体积精确地建模。双缸PR结构。我们使用折射率为1.51的紫外线（UV）固化聚合物制造的多焦点MLA具有四个不同的焦距，其值分别为0.9 mm，1.1 mm，1.6 mm和2.5 mm，其中四个NA的值分别为分别为0.1799、0.2783、0.3973和0.4775，其中填充因子为0.7727。

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