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Development of Ultra-Thin Microelectronic Multi-chip Assemblies

机译:超薄微电子多芯片组件的开发

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摘要

Ultra-thin, flexible microcircuit assemblies using thinned die (down to 20?m in thickness) and multilayer,rnthin film substrates (up to 4 conductor layers (five dielectric layers) at an overall thickness ofrnapproximately 10?m) have been fabricated. Such circuits offer significant promise in many advancedrnpackaging applications such as: biomedical implant and monitoring devices, wearing apparel electronics,rnconformal antennas and receiver/ transmitter systems, and appliqués of all types.
机译:已经制造出了超薄,灵活的微电路组件,该组件使用了较薄的裸片(厚度低至20μm)和多层薄膜基板(总厚度约10μm的多达4个导体层(五个电介质层))。这样的电路在许多先进的包装应用中具有巨大的前景,例如:生物医学植入物和监测设备,穿戴式服装电子设备,保形天线和接收器/发射器系统以及各种贴花。

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