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首页> 外文会议>Advanced microsystems for automotive applications 2009 : Smart systems for safety, sustainability, and comfort >Development of a Single-Mass Five-Axis MEMS Motion Sensor
【24h】

Development of a Single-Mass Five-Axis MEMS Motion Sensor

机译：单质量五轴MEMS运动传感器的开发

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MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) are being included in an increasing number of applications in automotive systems, particularly because of their small size and cost. However, most automotive applications require more information than can be provided by a single MEMS motion sensor. We report on the development of a MEMS motion sensor that can detect acceleration along three axes and angular velocity around two or three axes using a single proof mass, enabling the integration of multiple applications into a single device. The sensor consists of four support springs patterned into the device layer of an SOI (Silicon on Insulator) wafer and a single proof mass formed by etching through the handle layer using DRIE (Deep Reactive Ion Etching). We present the fabrication and packaging process and modeling results for the sensor.
机译：MEMS（微机电系统）被包括在汽车系统中越来越多的应用中，特别是由于它们的小尺寸和低成本。但是，与单个MEMS运动传感器所提供的信息相比，大多数汽车应用需要更多的信息。我们报告了MEMS运动传感器的开发情况，该运动传感器可以使用单个检测质量检测沿三个轴的加速度以及围绕两个或三个轴的角速度，从而可以将多个应用集成到单个设备中。该传感器包括四个支撑弹簧，这些支撑弹簧被图案化为SOI（绝缘体上的硅）晶片的器件层，并且通过使用DRIE（深反应离子蚀刻）蚀刻穿过处理层而形成了单个检测质量。我们介绍了传感器的制造和包装过程以及建模结果。

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