• 主题
高级搜索  >
历史搜索 清空历史
首页> 外文会议>Conference on Wireless and Mobile Communications Nov 12-15, 2001, Beijing, China >Characterisation of high-isolation RF capacitive microswitches
【24h】

Characterisation of high-isolation RF capacitive microswitches

机译：高隔离射频电容式微动开关的特性

获取原文
获取原文并翻译 | 示例
页面导航
  • 摘要
  • 著录项
  • 相似文献
  • 相关主题

摘要

With the recent growth of microelectromechanical systems (MEMS), RF capacitive microswitches are becoming popular. As such there is a need to accurately characterise the performance of the RF capacitive microswitches. To realise this goal, the paper proposes both electrical and static mechanical models to precisely extract the performance parameters of the RF capacitive microswitches. The electrical model proposed in this paper provides a means to represent the RF capacitive microswitches for use to determine the resistance, capacitance, and inductance. The static mechanical model predicts the effective stiffness constant and the pull-in voltage. Deformation of the bridge and its contact behaviour with the dielectric layer are also precisely analysed using Finite Element Method. Finally this paper discusses the fabrication of the RF capacitive microswitches.
机译：随着微机电系统（MEMS）的最新发展，RF电容式微动开关正变得越来越流行。因此，需要精确地表征RF电容性微型开关的性能。为了实现这个目标，本文提出了电和静态机械模型，以精确地提取射频电容式微动开关的性能参数。本文提出的电气模型提供了一种表示RF电容式微动开关的方法，用于确定电阻，电容和电感。静态力学模型可预测有效刚度常数和引入电压。还使用有限元方法精确分析了电桥的变形及其与电介质层的接触行为。最后，本文讨论了射频电容式微动开关的制造。

著录项

相似文献

  • 外文文献
  • 中文文献
  • 专利
获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

  • 客服微信

  • 服务号