Optofluidic microsystems fabricated by ultraprecision micromachining

机译：超精密微加工制造的光流微系统

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We present optical microsystems fabricated by ultraprecision micromilling. The unique variety of surface profiles fabricable with optical surface quality allows for the integration of optical, mechanical and fluidic functionality. Highly integrated systems for fluorescence detection or optical micromanipulation are discussed.

机译：我们介绍了由超精密微铣加工制造的光学微系统。可以用光学表面质量制造的独特表面轮廓可以整合光学，机械和流体功能。讨论了用于荧光检测或光学显微操作的高度集成的系统。

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来源
《European Optical Society annual meeting;EOSAM 2010》|2010年|p.435-436|共2页
会议地点 Paris(FR);Paris(FR)
作者
M. Amberg; S. Stoebenau; S. Sinzinger;
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作者单位

Technische Universitaet Ilmenau, IMN MarcoNano, Fachgebiet Technische Optik,Postfach 100565, 98693 Ilmenau, Germany;

Technische Universitaet Ilmenau, IMN MarcoNano, Fachgebiet Technische Optik,Postfach 100565, 98693 Ilmenau, Germany;

Technische Universitaet Ilmenau, IMN MarcoNano, Fachgebiet Technische Optik,Postfach 100565, 98693 Ilmenau, Germany;

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原文格式 PDF
正文语种 eng
中图分类工程光学;
关键词

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