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首页> 外文会议>Knowledge Foundation's International Conference on Advances in Application of Integrated Commercial-Off-The Shelf Micro-Electro-Mechanical Systems(COTS MEMS 2003); 20031020-21; San Francisco,CA(US) >Growth and Integration of Carbon Nanotubes For Advanced Nanodevice Applications
【24h】

Growth and Integration of Carbon Nanotubes For Advanced Nanodevice Applications

机译：用于高级纳米器件应用的碳纳米管的生长和集成

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1. High throughput methodology has been used to study the PECVD growth of carbon nanotubes. 2. Aligned carbon nanostructures have been developed and used as our main technology platform. 3. Carbon nanotube interconnects have been built from bottom-up, and are far superior than Cu interconnects. 4. We have built ultra-sensitive biosensors based on carbon nanoelectrodes. 5. Mass production of CNT AFM imaging probes have achieved initial success. Future nanoscale materials development at NASA; 1. CNT-based chemical sensors 2. Nanoelectronics and optoelectronic applications (GaN, GaAs, ZnO, CdO, Si nanowires, etc.) 3. Multi-layer CNT interconnect structures.
机译：1.高通量方法已用于研究碳纳米管的PECVD生长。 2.已开发出取向碳纳米结构，并将其用作我们的主要技术平台。 3.碳纳米管互连是自下而上构建的，远优于铜互连。 4.我们已经建立了基于碳纳米电极的超灵敏生物传感器。 5. CNT AFM成像探针的批量生产已取得初步成功。 NASA未来的纳米材料开发； 1.基于CNT的化学传感器2.纳米电子学和光电应用（GaN，GaAs，ZnO，CdO，Si纳米线等）3.多层CNT互连结构。

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