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【24h】

LOW COST ZNO:AL TRANSPARENT CONTACT FOR CIS SOLAR MODULES BY REACTIVE ROTATABLE MAGNETRON SPUTTERING

机译：反应性旋转磁控溅射法用于CIS太阳能组件的低成本Zno：al透明接触

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Cu(In,Ga)Se_2 (CIS) thin-film module technology successfully entered large scale production last yearat the 15 MW_p/a WUERTH SOLAR CISFAB at Schwaebisch Hall, Germany. Besides the main tasks of ramping up andstabilising the production at high levels of throughput, yield and quality, the cost reduction is now one of the key issues.Al-doped zinc oxide (ZAO) used as transparent conductive oxide (TCO) in CIS modules causes significantcosts due to high ceramic target prices and limited target utilisation. Major cost reductions are expected by using reactivemagnetron sputtering of metallic targets. In a joint research effort within the European integrated projectATHLET this process is being investigated by ZSW and industrial partners. In several campaigns the deposition ofZAO onto CIS absorbers of high quality and industrial relevance was performed in a coater with innovative rotatablemagnetrons at VON ARDENNE.First parameter variations yielded ZAO films of almost comparable TCO quality (T_(max) >89 % @ 6 Ω/sq on glass) tostandard films as prepared by d.c. ceramic sputtering. Medium size CIS modules were coated as well with efficienciesup to above 11 %. In order to relate film growth conditions with film and device quality, electrical, optical,SEM, and Hall analysis of the ZAO films were performed and are discussed with respect to the module performance.
机译：去年，Cu（In，Ga）Se_2（CIS）薄膜组件技术成功进入大规模生产 在德国Schwaebisch Hall的15 MW_p / a WUERTH SOLAR CISFAB上。除了增加和增加的主要任务 为了稳定高产量，高产量和高质量的生产，降低成本现已成为关键问题之一。 铝掺杂的氧化锌（ZAO）用作CIS模块中的透明导电氧化物（TCO） 由于较高的陶瓷目标价格和有限的目标利用率，导致成本下降。通过使用反应堆，预计可以大幅度降低成本 磁控溅射金属靶材。在欧洲综合项目中的一项联合研究工作 ATHLET的这一过程正在由ZSW和工业合作伙伴进行调查。在几次战役中 在具有创新可旋转性的涂布机中对高品质和工业实用性的CIS吸收器进行ZAO处理 冯·阿登纳（VON ARDENNE）的磁控管。 第一参数变化产生的ZAO薄膜具有几乎可比的TCO质量（玻璃上的T_（max）> 89％@ 6Ω/ sq）至 d.c.制作的标准胶片陶瓷溅射。中型CIS模块也进行了涂层处理 高达11％以上。为了将薄膜生长条件与薄膜和设备质量，电气，光学， 进行了SEM和ZAO膜的霍尔分析，并就模块性能进行了讨论。

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