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首页> 外文会议>IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems >Development and characterization of three-axis micro-force sensor series
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Development and characterization of three-axis micro-force sensor series

机译：三轴微型力传感器系列的开发与表征

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This paper presents series three-axis micro-force sensors which are based on piezoresistive effect. The structure of these sensors include two critical parts, one central mesa suspended by four single-crystal-silicon sensing beam and one quartz optical fiber probe with ladder structure. By changing the length of the probe, we can get series sensors with different sensitivety and measurement range. The experiment results demonstrate that the linearity of these sensors is very good. These sensors will be used in many fields.
机译：本文介绍了三轴微型力传感器，基于压阻效应。这些传感器的结构包括两个关键部件，一个由四个单晶硅感测光束悬挂的一个中央台面，以及具有梯形结构的一个石英光纤探针。通过改变探头的长度，我们可以获得具有不同敏感和测量范围的串联传感器。实验结果表明，这些传感器的线性非常好。这些传感器将用于许多领域。

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