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首页> 外文会议>IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems >Development and characterization of three-axis micro-force sensor series
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Development and characterization of three-axis micro-force sensor series

机译：三轴微力传感器系列的开发与特性

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This paper presents series three-axis micro-force sensors which are based on piezoresistive effect. The structure of these sensors include two critical parts, one central mesa suspended by four single-crystal-silicon sensing beam and one quartz optical fiber probe with ladder structure. By changing the length of the probe, we can get series sensors with different sensitivety and measurement range. The experiment results demonstrate that the linearity of these sensors is very good. These sensors will be used in many fields.
机译：本文提出了一系列基于压阻效应的三轴微力传感器。这些传感器的结构包括两个关键部分，一个中央台面由四个单晶硅感测梁悬挂，一个带梯形结构的石英光纤探头。通过改变探头的长度，我们可以获得具有不同灵敏度和测量范围的串联传感器。实验结果表明，这些传感器的线性度非常好。这些传感器将用于许多领域。

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