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首页> 外文会议>IEEE International Conference on Nanotechnology >Compact Fabry-Perot Electro-optic Switch Based on n-ZnO/p-Si Heteroj unction Structure
【24h】

Compact Fabry-Perot Electro-optic Switch Based on n-ZnO/p-Si Heteroj unction Structure

机译：基于N-ZnO / P-Si Heteroj Untraction结构的紧凑型法布里 - 珀罗电光开关

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We present a hybrid waveguide-based optical switch using n-ZnO/p-Si heterojunction diode structure. The n-ZnO/p-Si vertical diode is incorporated with a Fabry-Perot niicrocavity to realize optical switching through electrical biasing. The ZnO layer functions as n-type transparent oxide semiconductor and waveguide cladding. Under 4V reverse bias (depletion), simulation shows a modulation depth of 5.54dB and tunable red-shift of 4nm over a cavity length of 17μm. A Fabry-Perot microcavity of 20μm length has been fabricated and measurement shows a tunable blue-shift of 0.1nm under 10V forward bias condition (accumulation).
机译：我们使用N-ZnO / P-Si异质结二极管结构提出了一种混合波导的光学开关。 N-ZnO / P-Si垂直二极管结合在Fabry-Perot Niicrocavity中，以通过电偏置实现光学切换。 ZnO层用作n型透明氧化物半导体和波导包层。在4V反向偏置（耗尽）下，模拟显示了5.54dB的调制深度，并在17μm的腔体长度上可调谐红色偏移4nm。已经制造了20μm长度的法布里 - 珀罗微腔，测量显示在10V正向偏置条件下的0.1nm的可调蓝色偏移（累积）。

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