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An assessment of physical and electrical design rule based statistical process monitoring and modeling (PEDR-SPMM): for foundry manufacturing line of multiple-product mixed-rum

机译：基于物理和电气设计规则的统计过程监测和建模评估（PEDR-SPMM）：用于多产品混合朗姆酒的铸造生产线

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A novel methodology of physical and electrical design rule based statistical process monitoring and modeling (PEDR-SPMM) was proposed. By the aid of principal component analysis, the correlated physical and electrical parameters are decomposed into an independent variable set. The key parameters of multiple products mixed-run could be formulated by the independent variable set, which reduce the modeling complexity, and also provide a way to get a comparison between different technology nodes.

机译：提出了一种基于物理和电气设计规则的统计过程监测和建模（PEDR-SPMM）的新颖方法。借助于主成分分析，相关的物理和电气参数被分解成独立变量集。混合运行的多个产品的关键参数可以由独立变量集配制，这降低了建模复杂性，并且还提供了一种在不同技术节点之间进行比较的方法。

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来源
《International Conference on Microelectronic Test Structures》|2003年||共5页
会议地点
作者
Kelvin Yih-Yuh Doong; Sunnys Hsieh; S. C. Lin; L. J. Hung; Robin J. Wang; Binson Shen; J. W. Hisa; J. C. Guo; I. C. Chen; K. L. Young; Charles Ching-Hsiang Hsu;
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作者单位

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会议组织
原文格式 PDF
正文语种
中图分类 TN406-53;
关键词
Design rule; Principal component analysis; Inline metrology; Physical specifications; Electrical specifications;

机译：设计规则;主成分分析;内联计量;物理规格;电气规格;

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