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Vibration isolation and damping in high precision equipment

机译：高精度设备中的隔振和阻尼

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All systems located in a laboratory environment or factory are subject to disturbances. These disturbances can either come from the surroundings, e.g. floor-induced vibrations, or from the system itself, e.g. stage-induced vibrations. In many cases it is needed to minimize the effect of these disturbances. This can either be done by isolating the system from its disturbance source or by applying damping to the system. In this paper we present various cases in which we have effectively reduced the impact of disturbances on the system's performance, either by improving its isolation system, by minimizing the impact of stage reaction forces, or by designing polymer damping into the system.
机译：位于实验室环境或工厂中的所有系统均会受到干扰。这些干扰可能来自周围环境，例如地板引起的振动，或来自系统本身的振动，例如阶段引起的振动。在许多情况下，需要使这些干扰的影响最小化。这可以通过将系统与其干扰源隔离开来，也可以通过对系统施加阻尼来完成。在本文中，我们介绍了各种情况，其中通过改进隔离系统，最大程度地减小级反作用力的影响或在系统中设计聚合物阻尼，来有效减少干扰对系统性能的影响。

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