首页> 外文会议>the 18th International Symposium Exhibition on Contamination Control(第18届国际污染控制学术会议)论文集 >Study into Design of Cleanrooms for 8' and 12' IC Fabs

【24h】

Study into Design of Cleanrooms for 8' and 12' IC Fabs

机译：8“和12” IC晶圆厂洁净室设计研究

获取原文

页面导航

著录项
相似文献
相关主题

著录项

来源
《the 18th International Symposium Exhibition on Contamination Control(第18届国际污染控制学术会议)论文集》|2006年|532-544|共13页
会议地点
作者

展开▼
作者单位

展开▼
会议组织
原文格式 PDF
正文语种
中图分类
关键词

相似文献

外文文献
中文文献
专利

1. IEST-RP-CC012.2, Considerations in Cleanroom Design [J] . Michael Fitzpatrick CleanRooms . 2006,第7期

机译：IEST-RP-CC012.2，洁净室设计注意事项
2. Design and fabrication of a microplatform for the proximity effect study of localized ELF-EMF on the growth of in vitro HeLa and PC-12 cells [J] . Y. C. Chen, C. C. Chen, W. Tu, Journal of Micromechanics and Microengineering . 2010,第12期

机译：用于研究局部ELF-EMF对体外HeLa和PC-12细胞生长的邻近效应的微平台的设计和制造
3. Study of Design Parameters for Semiconductor/FPD Cleanroom Focused on Airborne Contamination [J] . Manseung Seo, Haeryung Kim, Giljun Kim Key Engineering Materials . 2005,第Pt1期

机译：以空气污染为重点的半导体/ FPD洁净室设计参数的研究
4. Study into Design of Cleanrooms for 8″ and 12″ IC Fabs [C] . Oin Xueli International Symposium amp; Exhibition on Contamination Control(ICCCS 2006); 20060906-08; Beijing(CN) . 2006

机译：8英寸和12英寸IC晶圆厂洁净室设计研究
5. A Computer Game-based Simulation of Integrated Circuit Microfabrication in a Cleanroom Environment [D] . Crain, Madison. 2019

机译：基于计算机游戏的洁净室环境集成电路微制造仿真
6. From Cleanroom to Desktop: Emerging Micro-Nanofabrication Technology for Biomedical Applications [O] . Tingrui Pan, Wei Wang -1

机译：从洁净室到台式机：用于生物医学应用的新兴微纳米加工技术
7. Design and construction of micro fabrication cleanroom for teaching microelectronic undergraduateud [O] . Hashim Uda, Zahid Jamal Zul Azhar, Phang K. C., 2006

机译：微电子本科生微制造洁净室的设计与建设 ud
8. Software Technology for Adaptable, Reliable Systems (STARS) Program: Cleanroom Software Process Case Study. Addendum. The Cleanroom Engineering Process Assistant (CEPA) Specifications for a Prototype of the Workstation and Dispatcher. [R] . Ett, W. 1991

机译：适应性，可靠系统的软件技术（sTaRs）计划：洁净室软件过程案例研究。附录。工作站和调度员原型的洁净室工程过程助手（CEpa）规范。

获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

客服微信
服务号