Ultrasonic transducer array design for medical imaging based on MEMS technologies

机译：基于MEMS技术的医学成像超声换能器阵列设计

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Piezoelectric micromachined ultrasonic transducer (pMUT) is a new approach to form high frequency arrays for real-time 3-D medical imaging. pMUT arrays based on SOI-Si bonding and PZT-coated membrane structures have been designed in this paper. After simulation, the 6×6 ultrasonic transducer array was fabricated and characterized. The total array area is approximately 2.0 mm by 2.0 mm. The micrograph of the device shows that the physical parameters are consistent with the designed value. The impedance-frequency spectrum of the pMUT was measured by HP 4194A impedance phase analyzer. Resonance frequency and effective electro-mechanical coupling coefficient can be deduced from it. The resonance frequency is 980 KHz, and the effective electro-mechanical coupling coefficient is about 4.64%. Due to its performance, it is promising for medical ultrasonic imaging applications.

机译：压电微机械超声换能器（pMUT）是一种形成用于实时3D医学成像的高频阵列的新方法。本文设计了基于SOI-Si键合和PZT涂层的膜结构的pMUT阵列。经过仿真，制造并表征了6×6超声换能器阵列。总阵列面积约为2.0毫米乘2.0毫米。器件的显微照片表明，物理参数与设计值一致。通过HP 4194A阻抗相位分析仪测量了pMUT的阻抗频谱。由此可以推导出共振频率和有效的机电耦合系数。谐振频率为980 KHz，有效的机电耦合系数约为4.64％。由于其性能，它有望用于医学超声成像应用。

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来源
《2010 3rd International Conference on Biomedical Engineering and Informatics》|2010年|p.666-669|共4页
会议地点
作者
Wang Yu-Feng; Yang Yi; Ren Tian-Ling; Chen Hao; Liao Wen-Jun; Kong Xiang-Ming; Wang Li-Gang; Zhou Chang-Jian; Fu Di; Liu Li-Tian;
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作者单位

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会议组织
原文格式 PDF
正文语种
中图分类放射医学基础理论;
关键词
MEMS; medical imaging; pMUT; ultrasonic transducer array;

机译：MEMS;医学成像; pMUT;超声换能器阵列;

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