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Capabilities of low power excimer lasers in micromachining

机译：微机械线中低功率准分子激光器的能力

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Small excimer lasers in combination with high-resolution imaging and precision motion control systems are capable of direct-write shaping of many polymers, ceramics, glasses, and metal films. Microfabrication workstations of this type are often characterized by size, cost, and facilities requirements compatible with the resources of most laboratories and speciality shops involved in development or small-batch manufacturing of microstructures. Use of deep-up laser wavelengths allows application of ablation processes to a broad range of materials, and the maskless, direct-write fabrication method is well-suited to rapid set-up and change-over. In addition, the direct-write scheme can be employed to fabricate truly three dimensional microstructures with continuous variation of surface height and good surface finish.
机译：小型准分子激光器与高分辨率成像和精密运动控制系统相结合，能够直接写入许多聚合物，陶瓷，眼镜和金属膜。这种类型的微制造工作站通常是符合大小，成本和设施要求的特征，与大多数实验室和专业商店的资源兼容，参与了显影或小批量生产的微观结构。深度激光波长的使用允许将消融过程应用于广泛的材料，并且无掩模的直接写制造方法非常适合快速设置和变换。另外，可以采用直接写入方案来制造真正三维微结构，具有表面高度和良好表面光洁度的连续变化。

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