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Industrial Simulation and Petri Net Simulation for the design of an Automation Structure for Semiconductor Fabrication

机译:用于设计半导体制造的自动化结构的工业仿真和Petri净仿真

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摘要

The paper deals with simulation and optimization of a subset of AMDs Fab30 automation structure, a modern semiconductor fabrication (fab). The task of this industrial - academic collaboration the evaluation of the use of Petri net techniques in order to improve industrial simulation tools. The paper is organized as follows. Section 3 motivates the work. Section 4 introduces a semiconductor manufacturing execution system (MES). Section 5 informs some industrial simulation strategies and Section 6 shows a Petri net based simulation strategy of a subset of a MES. Section 7 concludes the paper with a brief discussion of both strategies.
机译:本文涉及仿真和优化AMDS Fab30自动化结构,现代半导体制造(Fab)。该工业的任务 - 学术合作的使用培养净技术的使用,以改善工业仿真工具。本文的结构如下。第3节激励工作。第4节介绍了半导体制造执行系统(MES)。第5节通知某些工业仿真策略和第6节示出了MES子集的基于Petri网的模拟策略。第7节关于这篇论文的简要讨论了这两种策略。

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