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グラファイトシートの熱伝導率測定法の研究(直線フィン温度分布フィッティング法によるグラファイトシートの熱伝導率測定結果)

机译:石墨板的导热率测量方法研究(线性鳍温度分布拟合法的石墨纸张热电导测量结果)

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摘要

半導体の高性能化·高速化に伴う発熱量の増加や電子機器の小型·薄型化により、携帯電話、パソコンなどの電子機器において熱対策が急務となっている。近年では、発熱源の熱を緩和させるためのヒートスプレッターとして高熱伝導性のグラファイトシート(GS)の利用が進hでおり、効果的な利用のためにGS の面内方向の熱伝導率を精度よく評価する必要がある。ヒートスプレッターの熱拡散性能の評価法として、材料にヒーターを貼り付け熱画像測定により温度分布を評価する手法や、光交流法(AC 法)により熱拡散率を測定する手法が用いられてきた。しかし、前者では材料の熱拡散性能を定量的に比較することができず、後者では熱拡散率から熱伝導率を算出するためには材料の比熱·密度を与える必要があり、また複合材料の評価が困難である。近年、複合材料からなる平板状試料の面内方向熱伝導率測定法として、試料の一端を加熱し他の部分を冷却したときの試料のフィン温度分布とその解析式と比較することにより熱伝導率を求める手法(温度分布フィッティング法)が報告されている。一方、これまでの検討は厚さ1 mm 程度の金属平板が主であり、GS や金属薄膜へ同手法を適用した例は報告されていない。本報では温度分布フィッティング法を用いた新たな取り組みとして、(1)フィン温度分布フィッティング法の厚さ40~200 mm の薄膜試料への適用、(2)赤外線カメラを用いた簡便な試料温度分布評価、(3)ヒーターの出力を変化させることによる試料の熱伝導率の温度依存性評価を行った。
机译:迫切需要热措施,电子设备,如移动电话和个人电脑,由于增加发热量伴随着高性能,半导体和小的加快和电子设备的变薄。近年来,利用高导热性的石墨片的(GS),其为热sprouter用于减轻发热源的热量,并且热传导率在GS的面内方向是精度为有效利用,有必要评价很好。作为评估所述散热器的热扩散性能的方法,已被用于评估由热图像测量的温度分布的方法,和通过该光学AC方法(交流法)测定热扩散率的方法。然而,在前者中,材料的热扩散性能不能定量比较,在后者中,有必要给该材料的比热和密度,以便从热扩散率计算热导率,和该复合材料是困难的评价。在近年来,作为由复合材料制成的平的样品,热传导通过加热样品的一端和通过比较样品及分析的翅片的温度分布的冷却的另一部分在面内方向的热导率的测定方法已经报道式。一种用于确定所述速率的方法(温度分布拟合方法)。在另一方面,先前的考虑主要是厚度为约1毫米的金属板,并且其中相同的过程适用于GS和金属薄膜还没有报道的例子。在本报告中,作为使用的温度分布拟合的方法,(1)散热片温度分布拟合方法来薄膜样品的厚度为40至200mm的厚度,(2)简单样品温度分布使用红外摄像机评价的新方法(3)通过改变加热器的输出的样品的热导率的温度依赖性的评价进行评价。

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