Uberlastfeste Silizium-Differenzdrucksensoren mit thermisch strukturierten Gegenlagern aus Glas

机译：具有热结构玻璃相对轴承的Urlast耐硅差压传感器

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Differenzdrucksensoren, die feinwerktechnische Schutzmechanismen nutzen, erlauben eine Uberlastfestigkeit von Δp = 160 bar bei einem Nennmessbereich von Δp =10 mbar. Silizium-Drucksensoren bieten gute mechanische Eigenschaften aufgrund des geringen Hystereseverhaltens sowie eine gute Nullpunktstabilitat. Die Siliziummesselementefur die Differenzdruckmesstechnik weisen selbst lediglich eine auf 1 bar begrenzte Uberlastfestigkeit auf. Es werden daher Uberlastschutzmechanismen benotigt, die die Empfindlichkeit und die Messunsicherheit des Messelementes nicht negativ beeintrachtigen. Ein mikromechanisch integrierter Uberlastschutz reduziert die Komplexitat der feinwerktechnischen Konstruktionen im Vergleich zum Stand der Technik. Haufig wird hier der Uberlastschutz durch externe Edelstahlmembranen mit definierter OlfUllung realisiert. Das vorliegende neuartige Messelement erreicht diese Eigenschaften fur einseitige Uberlastungdurch die Begrenzung der Auslenkung der Messplatte.

机译：使用精密技术保护机构的差压传感器允许在ΔP= 10毫巴的标称测量范围内的ΔP= 160巴的过载电阻。由于低滞后行为以及良好的零点稳定性，硅压力传感器提供良好的机械性能。用于差压测量技术的硅元件，甚至一对一的剩余强度。因此，需要进行制剂保护机制，这不会对测量元件的灵敏度和测量不确定性产生负面影响。与现有技术相比，微机械集成的剩余剩余保护可降低精密工程结构的复杂性。当然，幸存者保护通过具有定义的Olpholve的外部不锈钢膜来实现。本新的测量元件通过限制测量板的偏转来实现各种剩余的这些性能。

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来源
《GMA/ITG-Fachtagung Sensoren und Messsysteme》|2012年||共4页
会议地点
作者
T. Kober; R. Werthschutzky;
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正文语种
中图分类自动化技术及设备;
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