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Rapid optical figuring of aspherical surfaces with plasma-assisted chemical etching

机译：具有等离子体辅助化学蚀刻的非球面表面的快速光学图

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Programmed motion of a tool which removes material by plasma assisted chemical etching (PACE) gives controlled, deterministic figuring. The process has been automated to correct arbitrary figure errors on aspheric surfaces directly from the measured surface data. A system is now operating for figuring aspheric surfaces up to 0.5 m diameter. PACE can greatly reduce the time and cost of figuring large optics by its rapid convergence to the final figure requiring only two to three measurement/figuring cycles to reach 1/50 wave surfaces. PACE intrinsically smooths high frequency roughness with material removal leaving a surface free of subsurface damage.
机译：通过等离子体辅助化学蚀刻（速度）去除材料的工具的编程运动给予控制，确定性计算。该过程已经自动化，直接从测量的表面数据校正非球面曲面上的任意图形误差。现在，一个系统运行，用于覆盖直径0.5米的非球面表面。通过其快速收敛到最终图中，可以大大减少对大型光学器件的时间和成本需要两到三个测量/图循环以达到1/50波浪表面。速度本质上平滑高频粗糙度，材料去除留下没有地下损坏的表面。

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