タンタル含有窒化炭素膜の大気中超低摩擦発現

机译：含钽碳氮化膜的大气超低摩擦表达

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CN_x膜にTaを含有させたTa-CN_x膜を作製し，大気中での摩擦試験，および摩擦前後のAES分析を行った．その結果，Ta-CN_x膜は大気中において0.01以下の超低摩擦を発現することが初めて明らかにされた．そのメカニズムとして，膜内に含有された酸素が摩擦時に脱離することで，表面がグラファイトのような構造へ変化し低せh断となることが示唆された．

机译：在CN_X膜中产生含有TA的TA-CN_X膜，并进行摩擦前后的大气中的摩擦试验和摩擦前后分析。结果，显示出在大气中表达超低摩擦为0.01或更低的摩擦。作为一种机制，建议通过消除膜中所含含有的氧气将表面改变为诸如石墨的结构。

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来源
《トライボロジー会議》|2014年||共2页
会议地点
作者
野老山貴行; 服部貴文; 中安史典; 梅原徳次; 眞鍋和幹; 不破良雄;
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作者单位

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正文语种
中图分类 TH117.1-53;
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