Die Anwendung direkter Linearantriebe im Hochvakuum

机译：直线致动器在高真空中的应用

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Unter Hochvakuum soll eine Atmosphare mit einem Druck kleiner 10~(-5) mbar verstanden werden. Die Anwendungen liegen typischerweise in Gebieten wie: Mikroelektronik oder Vakuumbedampfungstechnik. Ausgefuhrte Losungen verwenden "magnetische Lager" und "Linearmotoren". Erstere sind bekannt aus solchen Anwendungen wie: Magnetspindeln fur Werkzeugmaschinen, Pumpen, Verdichter und Neutronenstrahlanlagen. Bei diesen werden uberwiegend aktive Magnetlager verwendet. Da diese Systeme keine mechanischen Kontakte aufweisen gibt es keinen mechanischen Verschleiss und damit auch keine Kontamination der Reinraumumgebung.

机译：在高真空下，应理解压力小于10〜（ - 5）杆的气氛。该应用通常在诸如：微电子或真空初步技术等领域。设计的解决方案使用“磁轴承”和“线性电机”。前者是从这些应用中的诸如：用于机床，泵，压缩机和中子束系统的磁心。这些磁性轴承用于这些磁性轴承。由于这些系统没有机械触点，因此没有机械磨损，因此没有污染洁净室环境。

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来源
《SPS/IPC/DRIVES》|2006年||共8页
会议地点
作者
Peter-Klaus Budig;
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作者单位

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会议组织
原文格式 PDF
正文语种
中图分类 TP2-53;
关键词
Permanetmagnetisches Lager; Erzeugung stabilen Gleichgewichtes; Linearantrieb;

机译：永磁轴承;发电稳定平衡;线性驱动器;

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